在召開的中國科協(xié)科技期刊月度研討會上，由哈爾濱工業(yè)大學(xué)電磁與電子技術(shù)研究所寇寶泉教授、李立毅教授、張赫博士撰寫的論文《集成繞組結(jié)構(gòu)短行程直流平面電機》被重點推介。該論文提出了一種可應(yīng)用于光刻機超精密工件臺的平面電機新型結(jié)構(gòu)。
與會專家表示，這種基于音圈電機運行原理的平面電機新結(jié)構(gòu)，可以實現(xiàn)高精度、高頻響的定位運動，在光刻機超精密工件臺的應(yīng)用領(lǐng)域具有很高的研究價值。這一新發(fā)現(xiàn)，對我國光刻機及其關(guān)鍵配套部件的研制具有重要意義，將加快推進(jìn)我國集成電路（IC）產(chǎn)業(yè)的自主化進(jìn)程。
